半導体製造用大型超精密ステージの開発

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SPIDER（スパイダー）とは、電気力を機械力に変換する「圧電素子」という材料を用いたリニアモーター（通常のモーターに対して、直接的に直線運動するモーター）の名前です（左図）。 圧電素子には剪断（せんだん）変形と伸縮変形という２つの能力があり、それを利用すると生き物の足のような動作をします。 この足（素子）が蜘蛛のように８本あることから、「SPIDER：スパイダー（蜘蛛）」と命名しました。
従来型のモーターに比べ、SPIDERはモーターの動作（位置決め）精度がÅ（オングストローム：１００億分の１ｍと同じ長さ）単位ときわめて高く、しかも小型・高出力であり、また、電磁ノイズが発生しないため真空中での動作が可能であるなどの特徴が挙げられます。

応用例

SPIDERは上記の特徴より、ナノメートルの精度が要求される半導体製造装置（電子線露光）に使える技術として注目を集めています。
応用分野は他にも微細加工装置やプローブ装置、ナノサージェーリー装置、マニュピレータ応用装置など、ナノテクノロジー産業を牽引していくシステムとして注目されています。