半導体製造用大型超精密ステージの開発

SPIDER（スパイダー）とは、電気力を機械力に変換する「圧電素子」を用いたリニアモーターです。 圧電素子は剪断変形と伸縮変形という2つの特性を持ち、生物の脚のような動作を実現します。 この素子が8本配置されていることから、蜘蛛にちなみ「SPIDER」と名付けられました。

従来のモーターと比較して、SPIDERはÅ（オングストローム）単位の極めて高い位置決め精度を持ち、 小型・高出力であり、さらに電磁ノイズを発生しないため真空中でも動作可能です。

応用例

ナノメートル精度が要求される半導体製造装置（電子線露光）への応用が期待されています。 さらに、微細加工装置、プローブ装置、ナノサージェリー装置、マニピュレータなど、 ナノテクノロジー分野を支える技術として注目されています。