由半导体制造的大型超精密移动台的开发

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SPIDER（左图）是利用“压电元件”材料通过电能转化为机械能的一种线性马达。 对于普通的马达而言，线性马达是一种直线运动的马达。 压电元件具有剪切变形和伸缩变形两种功能，它利用如生物的脚足运动般而动作。这个元件和蜘蛛的脚足一样由八块组成，所以命名为SPIDER（蜘蛛）。
和传统的马达相比，SPIDER马达的动作精度。定位能达到和Å埃长度相当于100亿分之1米单位一样高，而且具有小型，高输出功能，另外，因为不会发生电磁噪音，所以也具有在真空中动作等特征。

应用例子

基于SPIDER具有上述特征，所以它的技术广泛地被应用于具有纳米精度要求的半导体制造装置电子束曝光中使用。
应用领域也包含其他的微细加工装置和探测装置，纳米手术装置，操纵应用装置等，广泛地被引入纳米技术产业中。