半导体制造用大型超精密平台的开发

SPIDER是一种利用压电元件将电能转换为机械能的直线电机。 压电元件具有剪切变形和伸缩变形两种特性，利用这些特性可以实现类似生物脚部的动作。 由于该装置具有像蜘蛛一样的8个“脚”，因此被命名为“SPIDER”。

与传统电机相比，SPIDER具有极高的定位精度，可达到埃（Å）级别， 同时还具有小型化、高输出的特点。 此外，由于不会产生电磁噪声，因此也能够在真空环境中工作。

应用实例

由于上述特点，SPIDER作为一种可应用于半导体制造设备 （如电子束曝光装置）的技术而备受关注，这些设备通常要求纳米级精度。 此外，它还可应用于微细加工设备、探针设备、纳米手术装置以及机械手应用系统等领域， 是支撑纳米技术产业发展的重要技术之一。